規(guī)格(mm) | 測量面對基面垂直度 (um) |
測量面平面度或直線度 (um) |
基面平面度或直線度 (um) |
|||
精度等級 | ||||||
00 | 0 | 00 | 0 | 00 | 0 | |
100×63 | 2 | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 |
160×100 | 2 | 4 | 1 | 2 | 1 | 1 |
250×160 | 2.5 | 5 | 1 | 2 | 1 | 2 |
400×250 | 3.5 | 7 | 1 | 2.5 | 1 | 2 |
630×400 | 4.5 | 9 | 1.5 | 3 | 1 | 2.5 |
800×500 |
5 |
10 |
2 |
4 |
1.2 |
3 |
1000×630 |
6 |
12 |
2.5 |
5 |
1.5 |
3 |